28纳米芯片国内有几家?

  28纳米芯片国内有几家?

  热处理,北方华创、屹唐半导体已经能够生产28nm以上制程的热处理设备;
  刻蚀,北方华创、中微公司、屹唐半导体,他们的刻蚀机已经普遍运用在28nm-3nm的生产线当中;
  离子注入,北京中科信的12英寸离子注入机icon,已经进入到了中芯国际的生产线,工艺覆盖到了28nm,万业企业旗下的凯世通的离子注入机已经突破3nm,工艺主要参数优于国外同类产品;
  薄膜沉积,北方华创、沈阳拓荆的设备已经应用在中芯国际28nm芯片的生产过程当中;
  化学机械抛光,华海清科28nm制程抛光机已经实现了成熟制程的产业化应用,14nm的制程工艺已经处于实验阶段;
  清洗,北方华创、盛美半导体、至纯科技、芯源微的清洗设备已经实现了国产替代,其中,盛美半导体的设备是国内唯一进入14nm生产线的清洗设备厂商。

文章引用数据来源知名财经网站,如东方财富网,新浪财经等。